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洁净室淋水式处理
2026-01-29洁净室淋水式处理
淋水式是一种传统的经典方法，利用水洗方法将可溶于水的废气及粉尘水洗清除。部件有喷嘴、水泵、加碱设备及pH值分析器、进出口压力敏感元件、流量敏感元件、控制监视装置等。图9-46是某半导体工业常用的区域性洗涤塔。表9-19是区域性洗涤塔的优缺点比较。
最大不平整度:1/300板面长度。
表面电阻值:10-5~10-70。
1硅片传输。受投资所限，采用手动系统，在微环境下手工传送、打开片盒和装取硅片。
5微环境装置形式。在吊顶安装型或地板固定型或两者混合型中选用，见图9-44和图9-45。
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