
垂直单向流集中送风方式
集中送风方式是一种经典的方式。集中送风方式就是将多台空调净化机组集中设置在空调机房内。空调机房可位于洁净室的侧面,也可位于洁净室的顶层。垂直单向流集中送风方式可适用于大面积和洁净度级别高的洁净室。图9-5~图9-7是高级别电子工业洁净室应用垂直单向流集中送风的几种形式。


由以上各图可见,垂直单向流集中送风方式的洁净室空间包括活动地板以下的下技术层、工作层和上技术层。如果面积不大,级别不高于5级(1ISO),下技术层即为不高的回风层,室内空气通过格栅地板经过中效过滤器回风,这是在第四章讲过的典型垂直单向流洁净室。如果洁净室面积大,洁净度要求高,要求送风均匀,也就是要求回风静压箱内气流分布均匀,该层就要有高的层高。