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洁净室有害气体排放处理
2026-01-29有害气体排放处理
一、有害气体种类
(1)含酸类废气
主要来源于化学清洗工作中产生的挥发性气体。
(2)含碱类废气
主要来源于化学清洗工作中产生的挥发性气体。
(3)毒性废气
如含磷、硼、镓、砷以及四氯化硅等的废气，主要来源于化学气相沉积干蚀刻机、扩散、离子植人等工序。
(4)工艺尾气
如含H2、02等工艺尾气。
(5)含有机溶剂废气等
生产过程中会使用多种有机物，如乙氧基全氟丁烷、全氟三丙基胺、全氟三丁基胺、全氟乙烷、丙二醇单甲基醚、异丙醇、乙醇、丁酮、丙酮、环已酮、乙醛等。这些有害物质一则污染外环境的大气，二则在进人空调系统后，对生产进一步造成危害，所以必须处理。
二、处理措施
对含酸、碱气体可用湿式淋洗方法处理,可直接用水,或用其他化学溶液如氨
水、氢氧化钠溶液进行中和。对含砷(如三氯化砷)、磷(如三氯化磷)等的废气,可喷进酸、碱溶液吸收,其中50%氢氧化钠对PCls吸收效果好，但对AsClg的效果不理想。对含砷化氢(AsHs)的气体可用饱和高锰酸钾溶液喷淋吸收。对含四氯化硅(SiCL)的尾气可直接淋水进行水解。其他工艺尾气如氮气、氧气、氨气、硅烷等也可淋水吸收。也可用加热(燃烧)兼水洗方法去除有害气体。对于未处理的或反应剩余的可燃性气体如氢气、硅甲烷，可利用加热(燃烧)方式将其高温氧化;若为有毒有腐蚀性或易爆气体，可溶于水的，利用冷水洗涤冷却。
还可用活性炭加添加剂的化学过滤器处理有害气体。也可用化学吸附方式将有害气体吸附至金属罐中，通过压力或出口浓度传感器，检测吸附剂是否饱和，定时更换吸附剂。
还可用沸石浓缩转轮加直燃式焚化系统，使废气经过一浓缩转轮浓缩，浓缩倍率可提高10倍，再将高浓度的有机废气送人燃烧机燃烧后排放，因此燃烧机的大小可为原来的1/10。后段燃烧分解效率可达99%。通过转轮机的气体速度以不超过2m/s最佳。此种方式由于完全燃烧而无二次污染。- 上一篇：洁净室空调净化系统主要几种形式
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