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空调净化系统一、电子工业洁净室空调净化系统主要形式电子工业洁净室空调净化系统主要有以下几种形式:1垂直单向流集中送风方式;2风机过滤单元送风方式;3隧道送风方式;4非单向流送风加层流罩送风方式;5微环境方式。以上5种送风方式比较见表9-11。