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洁净室 空气洁净度的意义

2026-01-09

 空气洁净度的意义
随着现代工业的发展，对实验、研究和生产的环境要求越来越高，因而调节空气品质的技术空气调节技术的内容也随之逐步扩大。现代空调技术不仅包含调节空气的温度、湿度和速度的概念，而且还包含了调节其洁净度、压力以至成分。气味的概念。
现代化的科学实验和生产活动对空气洁净度的要求主要是从下述四方面提出来的。
第一，加工的精密化。现代化产品的加工精度已经进人到亚微米量级，而且正在向更小的量级发展。以半导体工业来说，早已采用了分子束外延技术，可按一个一个原子层来生长单晶材料;利用离子束刻蚀技术也可以对半导体材料进行一个原子一个原子的刻蚀剥离等。
第二，产品的微型化。半导体元件越来越小，集成度越来越高。超大规模集成电路可在30mmX30mm的芯片上集成上亿个以上的元件。原来体积为几千立方厘米的电子装配件，已缩小到零点几立方厘米。光致抗蚀剂层厚度也只有0.2pm，膜的深度只有0.1m，而铬层甚至只有0.03pm。目前，半导体集成电路的图形线距已小到0.1m以下。
第三，产品的高纯度(或高质量)。现代许多产品，其纯度已由过去认为很纯的"化学纯"时代进人了今天的"电子纯"或"超纯"时代。例如，超大规模集成电路所用的硅单晶材料可达到13个"9"的超高纯度，集成电路生产环境中的化学污染物含量要求小于10-12(容积的百分比达到10-12)。又如不能灭菌不能过滤的药液还必须绝对无菌。对这些材料之所以有这样高的要求，是因为只有在洁净环境下生产和使用，才可能充分发挥这些材料的固有特性、作用或使其呈现出新的特性来。
第四，产品的高可靠性。对于自动化、信息化时代的产品，其高可靠性是现代技术发展的迫切需要，是精确性和高准确性的需要，是长时间运行和百分之百保证率的需要，今天更突显高安全性的需要。例如药品、食品的生产，对无菌动物的饲育，对病原体，肿瘤病毒等危险性微生物的实验加工过程，都要确保产品的高可靠性和人的安全无菌操作以及保护自然界的生态环境，这里，洁净技术和工程都起到十分重要的作用。
显然，在上述情况中，如果有微粒(固态的或者液态的)进人产品，这种微粒就可能构成障碍，短路，杂质源和潜在缺陷。上述四种要求越高，则允许存在于环境空气中的微粒数量越少，也就是洁净程度越高。因此，洁净室技术已成为科学实验和生产活动现代化的标志之一。

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