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洁净度级别有哪些

2026-01-08

洁净度级别

电子工业洁净室(厂房、车间)所要求的基本空气洁净度级别已在第二章中给出了范围,在<<电子洁净厂房设计规范>>(征求意见稿)中列举了具体要求,见表9-1