电子厂房净化项目的实施流程(全生命周期管理)
项目实施需遵循 “精准规划→科学施工→严格验收→规范运维” 的逻辑,避免因流程疏漏导致净化效果不达标或后期运维成本过高。
1. 前期规划与设计阶段(奠定基础)
- 需求调研:明确产品类型(如芯片 / PCB / 元器件)、生产工艺(如光刻 / 组装 / 测试)、产能规模,结合行业标准确定洁净等级、温湿度、ESD 等核心指标;
- 场地勘测:评估厂房结构(层高、承重、梁柱位置)、周边环境(是否有污染源)、市政配套(水电燃气供应能力),避免设计与现场条件冲突;
- 方案设计:由专业净化工程公司出具详细设计方案,包括:
- 平面布局:划分洁净区、缓冲间(风淋室 / 货淋室)、更衣区、设备区、仓储区,高洁净区需设置 “二次更衣”(从普通区到洁净区需经过更衣→洗手→风淋除尘);
- 系统设计:HVAC 系统风量计算、FFU 布置密度、风管走向、过滤器选型;围护结构材料选型、节点密封设计;防静电、纯水、消防系统整合方案;
- 成本预算与审批:根据设计方案编制预算(含设备采购、施工、检测、运维储备金),明确项目周期(一般 1000㎡以下净化区周期 2-3 个月,1000-5000㎡周期 4-6 个月)。
2. 施工建设阶段(质量管控核心)
- 施工准备:搭建施工临时设施,对现场进行封闭管理(避免外部粉尘污染),施工人员需经过洁净培训(穿戴临时洁净服);
- 主体施工顺序(遵循 “先粗后精、先外后内”):
- 围护结构施工:先安装墙体→吊顶→地面,接缝处严格密封,完成后进行气密性测试(漏风率≤0.5%);
- 管线安装:铺设风管、水管、电线电缆,风管安装后需进行清洁(避免内部积尘),水管做压力测试(防止漏水);
- 设备安装:安装 HVAC 机组、FFU、高效过滤器、冷水机组、纯水设备、防静电设备等,设备安装后需调试运行;
- 洁净收尾:对施工区域进行全面清洁(用无尘布、专用清洁剂,避免产生粉尘),移除施工垃圾,封闭所有临时开口;
- 施工质量管控:重点检查密封性能(围护结构、风管接缝)、过滤器安装精度(无漏风)、防静电性能(电阻值测试)、温湿度控制精度,避免后期整改。
3. 检测验收阶段(达标关键)
验收需由第三方权威机构(具备洁净工程检测资质)按照设计指标和国家标准执行,验收合格后方可投入使用,核心检测项目包括:
- 洁净度检测:用粒子计数器在不同区域(送风口、工作区、回风口)多点采样,检测≥0.1μm、≥0.5μm 粒子浓度,需符合对应 ISO 等级要求;
- 温湿度与压差检测:连续 24 小时监测,记录温湿度波动范围、各区域压差数值,确保符合设计标准;
- ESD 性能检测:测试地面、墙面、设备的电阻值,人员静电释放时间,需满足电子行业 ESD-S20.20 标准;
- 气流速度与换气次数检测:单向流区域测试气流速度,非单向流区域测试换气次数,确保气流组织合理;
- 其他检测:噪声、振动、照明照度、纯水水质、消防设施功能,均需达标并出具检测报告。
4. 运维管理阶段(长期保障)
净化环境的稳定性依赖后期运维,需建立完善的运维体系:
- 定期巡检与维护:每日检查 HVAC 系统运行状态(风机、过滤器压差)、温湿度 / 压差数据;每周清洁洁净区地面、墙面、设备表面;每月测试 ESD 性能;每 6-12 个月更换初效 / 中效过滤器,每 1-2 年更换高效过滤器(根据压差变化调整);
- 应急预案:制定停电、设备故障、参数异常等突发情况的处理方案,配备备用电源(UPS)、备用风机,确保突发情况下洁净环境不被破坏;
- 人员管理:建立洁净区准入制度,人员需穿戴全套洁净服(帽子、口罩、手套、鞋套),禁止携带粉尘、静电物品进入;定期对运维人员进行培训(设备操作、应急处理)。