前期规划与设计

• 需求分析：根据生产的电子产品特性，如半导体芯片、液晶面板等，确定所需的洁净等级。国际标准化组织（ISO）标准中，洁净室等级从 ISO 1（最高洁净度）到 ISO 8（最低洁净度）不等3。
• 设计布局
  • 功能分区：合理划分核心生产区、辅助生产区、仓储与物流区、人员净化区等，不同区域有不同的洁净度要求和气流组织形式1。
  • 流线设计：考虑人流、物流、气流的方向和控制，避免交叉污染，同时确保生产效率和维护空间，还要设置紧急疏散通道3。

工程施工

• 结构与围护系统构建3
  • 地面处理：进行地面平整、防静电处理及必要的防水处理，铺设环氧树脂自流平或 PVC 卷材地板，不仅耐磨、防静电，还能有效减少灰尘积聚。
  • 隔墙与天花板：采用轻钢龙骨 + 无尘板（如彩钢板、岩棉板）构造，确保密闭性同时便于清洁，天花板设计时需考虑安装高效过滤器（HEPA）的位置。
• 空调净化系统安装1
  • 空调系统设计：采用集中式或分散式 HVAC 系统，确保室内温湿度稳定并维持正压状态，防止外界污染物侵入。
  • 过滤系统设置：设置初效、中效、高效三级过滤系统，高效过滤器（HEPA）通常位于送风口，能有效过滤掉 0.3μm 以上的微粒，保证空气洁净度。
  • 气流组织规划：通过 CFD（计算流体动力学）模拟优化气流分布，实现单向流或非单向流气流模式，以满足不同区域的洁净需求。
• 电气与弱电系统配置3
  • 电气系统：包括照明、插座、应急电源等，应选用防爆、防尘型设备，确保安全可靠。
  • 弱电系统：涵盖监控、通讯、自动化控制系统等，需布线隐蔽且易于维护，同时考虑 EMC（电磁兼容）设计，防止干扰。
• 水电气管路与排风系统安装3
  • 管路布局：纯水、排水、气体管道等应采取隐蔽安装，避免交叉污染，并设置必要的净化处理设施。
  • 排风与废气处理：针对特定工艺产生的废气，需设置专门的排风系统及净化装置，确保排放达标。

验收

• 性能测试：邀请第三方检测机构进行洁净度、温湿度、压差等性能测试，确保达到设计标准3。
• 系统调试：对净化工程的各个系统，如空调净化系统、电气系统、自控系统等进行联合调试，确保各系统之间协调运行，满足电子洁净厂房的使用要求。

运维管理

• 日常维护：制定严格的维护计划，包括过滤器的定期更换、设备的清洁与保养、地面的清洁等1。
• 人员管理：对进入洁净厂房的人员进行严格的培训和管理，包括更衣程序、操作规范等，确保人员行为不会对洁净环境造成污染4。
• 持续改进：建立环境参数历史数据库，通过大数据分析优化控制策略，定期评估新技术的适用性，逐步引入以提升车间性能1。