随着电子行业的飞速发展，洁净技术也在飞速的发展中。洁净空调系统是实现洁净室控制的主要手段。洁净室送风和回风设计是影响洁净室是否达标的重要因素，本文主要从回风系统入手，提出在洁净室回风系统设计中易出现的问题，对其分析并提出解决办法。
1. 回风口位置设置常见问题
目前，非单向流是洁净室气流组织的主要采用方式，即髙效送风口顶送（或侧上送）侧下回风；髙效送风口布置形式为吊顶均布，或是布置于受保护的工艺生产线上方，回风口布置于侧墙下方。《工业洁净厂房设计规范》GB50457-2008指出：回风口位置宜远离洁净工作台；易产生污染的工艺设备附近应设排风口；有局部排风装置或需排风的工艺设备，宜布置在洁净室下风侧。
由于送风口的布置是影响房间气流组织及空调参数的主要因素，因此，许多洁净室回风口布置存在以下几点问题：有的回风口随意布置于空余墙角或墙边，忽略了气流流向对工艺操作面的影响；有的设计回（排）风口又远离产生污染的工艺设备（如粉碎机等），这些工艺设备产生的污染空气会流到相对洁净区域甚至全洁净室；有的回风口布置的太少，回风速度偏大，导致全室空气流向一处，必然存在死角，洁净空气难以到达。
因此，在洁净室空调设计时，要同时参考建筑底图和工艺布置图，根据工艺要求进行设计：根据生产工艺特点，洁净度要求高的，回风口布置在远离设备侧；产尘或产生其它污染气体的，回（排）风口布置在zui靠近设备处；同时，风速不宜过大，以不大于2m/s为宜，这样，才能保证洁净室的洁净度，不增加卫生死角，zui大限度的保证洁净室工艺设备的an全有效使用。