主用于捕集＜0.5μm范围内的颗粒、灰尘等各种悬浮物。利用超细玻璃纤维纸作为滤料，胶版纸、铝膜等材料作为分割板，并与木框铝合金胶合而成。每台都是经纳焰法测试，具有过滤效率高、阻力低、容尘量大等特点。
高效过滤器可被用于洁净室末端位置，以结构形式可将其分为：有隔板高效、无隔板高效、大风量高效，超高效过滤器……同时，它还可被广泛用于光学电子、LCD液晶制造、生物医药、精密仪器、饮料食品、PCB印刷等行业的无尘净化车间空调末端送风位置。
除此之外，还有三种高效过滤器：
①超高效过滤器，它能做到99.9995%的净化效果。
②抗菌型无隔板，具有抗菌作用，可有效避免细菌进入洁净车间。
③亚高效过滤器，价格便宜，曾经多用于要求不高的净化空间项目中。