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 洁净室的特性

2026-06-15

 洁净室的特性
一、乱流洁净室均匀分布时的静态特性
通过对含尘浓度均匀分布时稳定式的进一步分析并绘成曲线,可以直观地了解
各参数对洁净度的影响程度,起到揭示洁净室规律的作用。现举一例,如图4-7
所示。
从图4-7中可见:
1在大气含尘浓度M≤106粒/L以内时,大气含尘浓度的波动对于100级(209E)及其以下级别的洁净室的含尘浓度影响极小,也就是说,在大气含尘浓度为M1时测出的室内含尘浓度,当M1变化到M2时,这一测定结果仍然适用。但是对于级别高于100级(209E)例如10级(209E)的洁净室,使用常规0.5um级高效过滤时,大气含尘浓度的变化对室内含尘浓度将有影响。
2室内单位容积发尘量G变化时,对洁净室含尘浓度的影响,随着末级过滤
器效率的提高而增加。或者说,对于级别越高的洁净室,G越是决定室内含尘浓度
的重要因素,比大气含尘浓度影响更大,所以室内管理越显得重要。3末级过滤器效率高到一定程度,对提高乱流洁净室洁净度级别的作用就显著减小,所以对于洁净度要求不是很高的洁净室,可以采用效率稍低而阻力、价格也低的末级过滤器,如亚高效过滤器,这对于拓宽洁净室的使用领域是有
司的。
4换气次数n和室内含尘浓度成直线关系,并且末级过滤效率7越大,n的彡响越大;反之末级过滤器性能越差,n的影响也越小,即此时单纯靠增加换气次攵收不到明显效果。同时,室内发尘量越大,n的作用也越大。
二、不均匀分布时的静态特性
由式(4-8)可以绘制一组曲线,反映不均匀分布系数和洁净室I.个性参数

 

 

 现举如图4-8所示的一组曲线为例。从这些曲线中可得到不均匀分布时的洁净室特性有以下几点。
内整个高度和断面上,都是平行单向气流而无涡流区,因为
1对于单向流洁净室,假定过滤器满布比达到100%(连边框都没有),则在室

 

 这好比是一段过滤器试验管道,过滤器后管道内的含尘浓度只决定于过滤器送
风浓度,当然这是理想的情况。
2假定过滤器不是100%满布,而有一个比例(即满布比),此时就有涡流区,随着这一比例的减小,4、V。都要增大,β要减小,则Nv也要增大,说明满布比不同的平行流洁净室,其含尘浓度是不同的,用式(4-4)可以计算。同样,人员密度不同的单向流洁净室含尘浓度也不同,所以单向流洁净室的人员数量还是要适当
控制的。
3对于不同的乱流洁净室,主要是主流区的大小、涡流区的大小和引带风量的大小不同,例如散流器的扩散角比高效过滤器风口大一些,因而V。小些,也大些。这就反映了不同乱流洁净室在含尘浓度上的差别。4在所有情况下,β越大,不均匀系数越小。这说明,如果将尘源尽量设置在主流区内,则洁净室的平均含尘浓度越小。
5对于乱流洁净室,由于一一般在0.5以上,则4越大,不均匀分布系数
越小,越接近于1。这说明,对于乱流洁净室,希望风口的引带比大,这样室内气
流混合较好,以达到尽量均匀稀释的作用,因而含尘浓度更接近按均匀分布公式

 

 计算的结果。
对于单向流洁净室,由于V<0.1,则越小,不均匀分布系数中越小于1。这说明,对于单向流洁净室,气流已经是平行流动,就不希望引带气流太大以致扰乱单向流;相反,引带气流越小,单向平行流越稳定,含尘浓度越低。6由于尘粒不均匀分布这一固有特性的影响,实测浓度值之间的差别在1倍
之内是允许的,由于浓度场的这一不均匀性,建议测定应多点多次地进行。
7据计算,不均匀分布和均匀分布浓度之比即不均匀分布系数4,对于乱流洁
净室一般波动士0.5,也就是说,按均匀分布法计算的结果若和实测浓度相差在半
倍以内,不一定是计算的问题,因为仍在不均匀分布的波动范围之内,是允许的。8均匀分布时n和N的关系如前所述为直线,而不均匀分布时则是折线,如图4-9所示。这是由于真正的室平均浓度即不均匀分布的室平均浓度,可比均匀分布的室平均浓度大(即>1),也可以比它小(即<1)。一般当n小于60次时,中大于1,反之小于1,因此n和N成为折线关系。