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电子工业洁净室空调净化系统主要形式
2026-04-13空调净化系统
一、电子工业洁净室空调净化系统主要形式
电子工业洁净室空调净化系统主要有以下几种形式:
1垂直单向流集中送风方式;
风机过滤单元送风方式;
隧道送风方式;
非单向流送风加层流罩送风方式;
5
微环境方式。
以上5种送风方式比较见表9-11。
二、垂直单向流集中送风方式
集中送风方式是一种经典的方式。集中送风方式就是将多台空调净化机组集中设置在空调机房内。空调机房可位于洁净室的侧面，也可位于洁净室的顶层。垂直单向流集中送风方式可适用于大面积和洁净度级别高的洁净室。
图9-5~图9-7是高级别电子工业洁净室应用垂直单向流集中送风的几种形式。
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