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洁净室设计中为了减少静电注意事项
2026-04-13在洁净室设计中为了减少静电事故，除了产品本身的保护措施外，设计者的责任就是设法减小起电程度。减小起电程度并加速电荷的泄漏，可以通过物理的和化学的方法实现。物理方法有选择合适的材料、接地和调节空气湿度。
1材料分三种类型:导电材料、静电耗散材料和抗静电材料。表面电阻率低于每单位面积1052，是导电的材料;每单位面积达到106~102，是静电耗散的材料;每单位面积达到1010~1012，是抗静电的材料。
如果器件已获得电荷，并与高电导率的已接地表面相接触，该电荷将迅速排掉，使电流水平可能达到足够高，以致可损害该器件。可采用静电耗散材料来减慢放电速率，以减少过快放电带来的损害。抗静电材料则具有低静电产生能力，也可比较慢地排掉电荷。
2接地是消除导体上静电荷的一种有效方法，这种方法简单、可靠，不需婴
很大的费用。接地必须符合安全技术规程的要求。接地既可将物体直接与地相接，也可以通过一定的电阻与地相接。直接接地法用于设备、插座板、夹具等导电部分的接地。对此，需用金属导体以保证与地的可靠接触。当不能直接接地时，就采用物体的静电接地。如果物体内外表面上任意一点对接地回路之间的电阻不超过1070，则这一物体可以认为是静电接地。
即使已采用了其他防静电的方法，工作点的工艺设备、试验和测量设备的所有金属和导电的非金属部分仍都必须接地。
防静电的接地装置和电气安全接地装置应连接在一起。- 上一篇：洁净室净化空调划分原则
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