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洁净室浮游菌和沉降菌浓度
2026-01-14浮游菌和沉降菌浓度
浮游菌浓度是指经过对已采样的培养皿或培养基条培养后得出的菌落数，代表单位体积空气中的活菌数，以个/m3表示。没有采到的或者没有存活的细菌并未计人。
每一个菌落代表一个活细菌繁殖成的一个菌团，用英文缩写符号表示就是lcfu。沉降菌浓度是指对经过一定时间(如30min)沉积到培养皿上的细菌培养后生成的菌落数，一个菌落就是一个细菌繁殖成的菌团，即1cfu。
菌浓参数主要在生物洁净室使用。但细菌不仅对生物洁净室而且也对半导体一类工业洁净室有重要影响。
不同的生物洁净室要求的菌浓标准是不同的。过去国内外标准多用浮游菌浓度来表达。
1968年，两位美国学者(Blwer和Wallace)观察到空气中含菌量为20~50个/ft3(707~1767个/m3)时，污染微粒的总病菌数中金黄色葡萄球菌(具有代表性的致病菌)比例可达到5%，此时极易引起败血症，美国传染病中心的研究也证实了上述结果。
世界卫生组织(WHO)推荐的医院浮游菌浓度标准见表5-18。
这里要特别指出的是，浮游菌浓度和沉降菌浓度一定不要互相换算，虽然理论上可以这样做，但实际上会带来一些麻烦，这在作者的<<空气洁净技术原理>>、<<医院洁净手术室建设实施指南>>中都有论述。合适的做法是用各自的标准来衡量。有害的微生物不仅对人有害，而且对工业制品也有很大的影响。对电子电气仪器和制品，在线路板底板的树脂与导体表面生长的霉菌菌丝会降低绝缘性能。有害微生物还会腐蚀聚氯乙烯(PVC)的包覆电线、发电机线圈、电容器等，会使环氧树脂、聚氨酯树脂、聚酰胺树脂老化。在光学镜头上生长的灰绿曲霉菌会使玻璃受到腐蚀。细菌、霉菌能在化妆品中繁殖，对皮肤不利。黏结剂里也能生长霉菌，大大影响黏结性能。
如果以集成电路为例，微生物的影响明显表现在以下几方面。
1.异物影响
当微生物以几到数百微米存在于硅片表面时，影响如图5-11所示。在n型片上有一层SiO2膜，通过带有一定图形的光刻胶膜，使用光刻板把SiO2膜一部分用干式腐蚀法腐蚀掉。在干式腐蚀工艺之前，如微生物像图5-11(a)所示那样，在SiO2膜表面某部分繁殖起来，则这一部分就起到了干式腐蚀时的掩膜版作用，留下其下的SiO2[见图5-11(b)]。下道工序在掩膜版图形区内用离子注人法进行硼扩散时，如图5-11(c)所示，在原有微生物处就不能形成p型区，还会使接触式光刻机接触不良，这就是异物导致产品质量不良的原因。- 上一篇：有关洁净室过滤器的分类
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