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洁净室车间工艺要求有哪些

2026-01-07

温度
温度首先应服从工艺要求,当工艺无要求时应考虑人的舒适性要求。
工艺要求主要有以下两种。
1.恒温要求
温度波动一般1C的算恒温,但温度最大波动范围不大于2C的也可称恒温,例如22C士2C即表明波动范围最低不得低于20C,最高不得高于24C,可以按恒温考虑。有的书中写成22士5C,这是不了解什么是恒温,允许变化5C绝不是恒定温度了。
恒温包括室温波动范围,即控制点或参考点的温度或设定的恒温参数在24h内的波动范围;还包括区域温差,即工作区平面内最大两点温度差别。