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电子工业洁净用房-风机过滤单元(FFU)方式

2025-11-14

风机过滤单元方式也是集中送风，在最近若干年获得大的推广。该方式灵活性更大。
这种送风方式将新风与回风的混合风由单元机组送到洁净室，再从回风静压室经两侧夹道回至送风静压箱与新风混合，见图9-9。FFU安装形式见图 9-10。
这种方式由于不需要大的空调机房，送风静压箱内的空气处于被风机过滤单元中的风机抽吸的状态，所以箱内呈负压，因此有利于防止过滤器边框的泄漏。但是单元台数太多，一台一个电机，发热量全散在顶棚中，给制冷带来过大的负荷。台数多，叠加噪声大，不便于维修。
如果车间跨度很大，新风口开在一侧或两侧不足以使处理过的新风较均匀地分配到每个FFU，回风也有这种现象，此时也可能要设必要的新风管道，进入纵深。
当风机过滤单元满布时，其外壳强度应满足上人要求。
由于风机过滤单元只负责空气循环及其净化处理，不能处理循环风的热负荷(湿负荷由新风兼管)，所以必须在循环通路上如夹墙内设冷却装置。为防潮湿滋生

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