一、空气洁净度与颗粒物检测设备

1. 激光粒子计数器
   • 功能：实时计数空气中 0.3μm、0.5μm、5.0μm 等不同粒径的悬浮颗粒物数量，计算单位体积（m³ 或 ft³）内的粒子浓度，判定洁净度等级。
   • 关键要求：需符合 ISO 21501-4 标准，采样流量常见 2.83L/min（适用于 ISO 5-8 级）或 50L/min（大流量，提高检测效率），且需定期通过计量校准（如中国 CNAS、国际 ILAC 认证）。
   • 应用场景：洁净厂房、手术室、食品车间的静态 / 动态洁净度检测（静态：无人无生产；动态：有人有生产）。
2. 微生物采样器
   • 功能：采集空气中的浮游菌（悬浮微生物）或沉降菌（自然沉降微生物），通过培养后计数，验证微生物污染控制效果。
   • 常见类型：
     • 浮游菌采样器：撞击式（如 Anderson 采样器，符合 ISO 14698-1），通过定量气流将微生物撞击到培养基上，采样流量通常 100L/min；
     • 沉降菌培养皿：依据 GB/T 16294，使用 Φ90mm 的营养琼脂培养皿，暴露 30 分钟后培养计数。
   • 行业要求：制药 GMP（如欧盟 Annex 1）、医院手术室（GB 50333）对微生物限值有明确规定（如 ISO 5 级区域浮游菌≤1CFU/m³）。

二、气流组织与风速检测设备

1. 热线风速仪 / 叶轮风速仪
   • 功能：测量洁净区送风口、工作区的风速及风速均匀性，核心指标为 “风速偏差≤±20%”（如 GB 51110）。
   • 选型差异：
     • 热线风速仪：精度高（量程 0.1-10m/s，精度 ±3%），适用于低风速（如层流罩 0.36-0.54m/s）检测，不受气流方向影响；
     • 叶轮风速仪：量程较宽（0.3-30m/s），但需正对气流方向，适用于回风口、排风口等风速稍高的场景。
   • 检测方法：对送风口采用 “网格法” 布点（如 1m×1m 网格），每个测点间距≤0.6m，计算平均风速与偏差。
2. 气流可视化工具
   • 功能：直观观察气流流型（如层流是否稳定、有无涡流），验证气流是否能有效覆盖工作区、带走污染物。
   • 常用工具：
     • 烟雾发生器：产生无毒、不易扩散的烟雾（如甘油烟雾），观察烟雾流动轨迹（需在静态、低风速环境下使用）；
     • 气流示踪剂：如干冰（低温，适用于验证负压区气流是否不外溢）、荧光粉（用于表面气流附着测试）。

三、压差与密封性检测设备

1. 数字微压计
   • 功能：测量不同洁净区之间、洁净区与室外的静压差，量程通常 ±200Pa 或 ±500Pa，精度≤±1Pa（符合 GB 51110 要求）。
   • 验收标准：相邻不同洁净度等级区域压差≥5Pa，洁净区与室外压差≥10Pa（如 GB 50472 电子洁净厂房、GB 14881 食品车间）；负压区（如生物安全实验室）需确保压差绝对值符合设计（如 - 15Pa）。
   • 注意事项：检测前需关闭门窗、稳定空调系统 1 小时以上，避免气流扰动影响数据。
2. 密封性检测工具
   • 功能：检测洁净室围护结构（如墙体、地面、门窗、风管接口）的密封性，防止外部污染渗入或内部洁净空气泄漏。
   • 常用设备：
     • 漏风测试仪（风管密封性）：对空调风管进行漏风量检测，依据 GB 50243，漏风量需≤规定限值（如中压风管漏风率≤2%）；
     • 压力衰减法测试装置：对洁净室整体加压（如 50Pa），记录压力衰减速率（如 10 分钟内压力衰减≤5Pa），判定围护结构密封性。

四、温湿度与环境参数检测设备

1. 温湿度记录仪（或巡检仪）
   • 功能：实时采集洁净区不同区域的温度、相对湿度，验证其稳定性和均匀性。
   • 关键参数：精度通常为温度 ±0.5℃、湿度 ±3% RH（符合 ISO 14644-3），采样间隔可设置 1-5 分钟，需布点覆盖工作区、送风口、回风口（布点数量依据洁净区面积，如面积≤50㎡布 3 个点）。
   • 行业差异：
     • 电子行业：温度 23±2℃，湿度 45±5% RH（GB 50472）；
     • 制药行业：无菌区温度 20-24℃，湿度 45-65% RH（GMP）；
     • 食品行业：低温洁净区（如冷链车间）温度 0-4℃（GB 14881）。
2. 露点仪（可选）
   • 功能：测量空气中的露点温度，防止洁净区因湿度超标产生结露（如电子车间避免芯片受潮），尤其适用于低湿度洁净区（如 RH≤30%）检测，精度可达 ±0.2℃露点。

五、其他专项检测设备

1. 静电测试仪（电子行业）
   • 功能：检测洁净区地面、墙面、设备表面的静电电位和表面电阻，防止静电击穿电子元件，符合 SEMI S2 标准（表面电阻 10⁶-10⁹Ω，静电电位≤100V）。
   • 常用设备：静电电位计（量程 0-100kV）、表面电阻测试仪（采用同心电极法）。
2. 照度计（通用）
   • 功能：检测洁净区工作区的光照强度，确保人员操作视线清晰，标准要求工作区照度≥300lux（GB 51110），走廊、辅助区≥150lux。
3. 噪声检测仪（通用）
   • 功能：测量洁净区的噪声值，避免噪声影响人员健康和设备运行，标准要求洁净区噪声≤65dB (A)（空态，GB 50472），手术室≤50dB (A)（GB 50333）。
4. 振动测试仪（精密电子 / 医疗行业）
   • 功能：检测洁净区地面、设备的微振动（如光刻机、手术显微镜周边），避免振动影响产品精度，标准要求振幅≤0.5μm（频率 1-100Hz，SEMI S2）。

六、辅助工具与耗材

• 采样布点图与记录表格：依据标准（如 GB 51110）绘制布点图，记录每个测点的位置、数据、检测时间；
• 计量校准证书：所有检测设备需提供有效期内的校准证书（如 CNAS 认证），确保数据合法有效；
• 无菌耗材：微生物检测用的无菌培养皿、无菌采样管（需符合医疗级无菌标准，避免二次污染）；
• 安全防护装备：进入洁净区的无尘服、无尘鞋、手套、口罩（避免人员对洁净区造成污染，影响检测结果）。