无尘车间日常清洁时可按以下方法来操作：
（1）在清洁无尘洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）清洁时用90％去离子水和10％的异丙醇配置清洁剂；
（3）务别使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用专用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
（8）所有的门都需要检查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11) 三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。
（13）需着装防静电工作服，静电帽，静电鞋。
无尘车间的维护水准直接影响着无尘车间的使用效果，因为在无尘车间的过程中，净化车间的维护就显得特别重要。