混合型洁净室是将单向流洁净室与非单向流洁净室混合于同一洁净室内组合使用，这种形式既满足产品生产的较严的洁净度等级要求，又可降低建造、运行费用。混合流洁净室的特点是需要空气洁净度要求高的区域使用单向流，其他区域为单向流，既满足使用要求，也节省建造投资和运行费用。下图为混合流洁净室一种形式的示意图，它是由两侧的垂直单向流洁净区—工作区，空气洁净度等级及位ISO5级或更高；中间为非单向流洁净区—走道、运输通道和辅助设备区等，洁净度等级一般为ISO6-ISO7级。单向流、非单向流的混合回风可经生产区域设备维修区或管道间，一部分回至集中净化空调系统，另一部分回至单向流或FFU送风装置等。目前混合流洁净室应用十分广泛，如果把产品生产过程要求空气洁净度十分严格的微环境+大开间洁净室也是做混合流洁净室，我们可以认为混合流洁净室可应用于任何级别的洁净室。
