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无尘室FFU保养手册
2019-10-31
山东康德莱净化工程有限公司
无尘室FFU保养手册
来源:山东康德莱净化工程有限公司 日期:2019-10-31
FFU需要保养吗?
FFU是高等级无尘室内过滤空气必备的净化设备,如100~10000级无尘室,是自带动力净化单元。日常维护以及保养,可以大大延长FFU的使用寿命,减少企业不必要的资金浪费,保养周期可以分为季度保养和年度保养!
少量型FFU保养:
定义:一般情况下,按照数量在150台以下并且是交流FFU,佰伦称为少量型,针对这类型客户,保养规则如下:
检查问题
1、检查FFU风圈四周螺丝是否紧固,脚踏板有无变形?
2、FFU调速装置是否能够正常运行,是否与机壳链接紧固?
3、FFU下方高效过滤器,出风面表面是否洁净,如有仪器可以检测FFU的面风速和过滤效率
检测规范:高效过滤器出风面设定9点定位(一排3个点),风速仪在距离FFU下
方1.2-1.5m处采集风速值,查看点位风速差。
效率测试与风速测试同样,唯一不同的是要分为2步测试法:
a、效率测试仪器要贴近高效过滤器表面,每个点位停留1min,查看过滤数值。
b、作完贴近测试作业,需要离高效过滤器出风面下方1m处,在同样的点位进行过滤数值采集,对比贴近测试数据,查看数据差。
保养方法:
1、FFU运行3个月后,应定期检查FFU风圈,发现螺丝松动可以拧紧,确保使用安全。
2、调速器运转不正常,如调大转速时,FFU风量无明显变化,第一时间通知厂家进行维修,一般情况是电容或者可控硅需更换。
3、测试发现高效过滤器有破损,风速明显减小,或者效率达不到应通知厂商,进行高效过滤器更换或修补。
故障解决:
附FFU维护使用说明书:
FFU安装使用维护说明书附 录
FFU安装使用维护说明书内容包含风机过滤器单元的安装-使用-维护-方法,本机体是安装在洁净区域天花板上,藉由滤网捕捉室内空气中的尘埃,为能平稳且安全地发挥机体性能,使用前请详细阅读FFU安装使用维护说明书。
FFU安装使用维护说明书概述
1-1风机过滤器单元
风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。
风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。
FFU使用环境:
>>周围温度:5℃~40℃
>>湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)
>>周围空气:一般室内空气
>>清净度:100-10级
>>请避免连续反复ON/OFF操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。
为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅〝重要安全事项〞。
1-2结构及特点
(1) FFU主要部件
(2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)
2.重要安全事项(请参考FFU安装使用维护说明书)
不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低,使用时请务必遵守下列事项:
2-1 安装使用环境(请参考FFU安装使用维护说明书)
>>风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
>>设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。
>>请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
>>请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2-2 FFU运送与安装
>>请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。
>>机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体维修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。
>>试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
2-3 FFU安装使用注意事项(请参考FFU安装使用维护说明书)
>>风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示
>>当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
>>切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。
>>请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。
>>请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。
>>实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。
3.FFU安装使用(请参考FFU安装使用维护说明书)
3-1运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项:
>>机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。
>>机体接地工事是否已实施。
>>机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。
3-2运转时注意事项
(1) 开始运转(请参考FFU安装使用维护说明书)
>>当电源开启后,机体即开始运转。
>>机体运转后请确认是否有异常现象。
当有下列情形发生,机体无法正常运转时,请向经销服务人员反映。
>>机体内部有异物,机体离心风扇无法正常旋转。
>>机体内部电线脱落,接头松脱。
>>机体内部电气部件,如过电源插头、马达损坏。
(2) 停止运转
>>运转后如发现异常现象,请即切断电源,停止机体运转。
4.维修点检
>>自购买日起进行定期检查,请勿自行检查,以免造成触电或火灾等事故发生。
>>除了维修人员外,请勿自行拆解、修理或变更规格,以免造成触电或火灾的发生。
>>当更换滤网等部件时,请注意不要损坏滤纸。
>>维修点检时,请务必先切断电源,停止机器运转后再实施,以免发生触电或伤害危险。
>>当安装维修点检完成后,在机体起动前,请确定机体基础稳固。
4-1日常维护
每天工作开始之前请依表2.点检下列各项,当发现有不正常的情形,立即切断电源并采取改正措施。
表2. 日常维护
4-2定期维护
使用风机过滤器单元一段时间后,因使用环境及使用状况之差异,为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转,请务必实施下列定期点检。
4-2.1定期维护
(1)定期维护项目请依表3.所示,对风机过滤器单元实施定期点检,当部件寿命已至时,请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命,会因使用环境及使用状况而有所差异)。
(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄漏(腐蚀气体…..等)意外发生,停机再启动后,请务必实施相同的检查。
表3. 定期维护项目
表4消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )
注:滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。
4.2.2点检完成
点检完成后,清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况;保留点检报告,当部件更换或机体更新时作为参考。
4-3故障排除
若有以下现象发生,连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细),然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。
>>非服务技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元,以避免造成严重的意外,例如触电或火灾。
附录
易损件规格表:
>>当需要更换服务备品时,请务必依本FFU安装使用维护说明书中表1.所列之部件名称提供予服务人员。
>>任何未经认可之代用品,不仅可能会影响风机过滤器单元的性能,同时可能造成火灾、触电或其它危险。
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