为了保证洁净室内洁净度的要求，平时必须维持一定的正压值，对不同等级的洁净室或洁净区，与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa，洁净区与室外静压差不应小于10Pa.
维持洁净室正压的方法有：
1. 安装余压阀：即在洁净室的下风向侧的墙七安装，预先调整余压阀维持室内正压值的开启度，通过余压阀开启关闭调整维持正压值，采用余压阀时应注意长期使用会关闭不严。2. 送风量大于回风量的方法维持室内正压。
3. 通过安装在回风口或支风管道上的对开式多叶调节阀来维持室内止值。这种方法简单方便，但精确度不如余压阀高。
4. 在回风口处安装空气阻尼层，阻尼层材料有尼龙纱、尼龙筛网（孔眼>100目）、在碱液中浸泡过的中细孔泡沫塑料、无纺布等、即通过回风阻尼层阻力逐渐增加而使室内正压增加。该种方法只适用于走廊或套间回风方式。
5. 要求洁净室（区）外围护结构密封性能良好。