净化工程通过 “空气净化系统 + 辅助控制系统” 实现上述参数控制，不同系统的功能和组件差异如下：
是净化工程的 “心脏”，从室外空气到洁净区需经过多道处理流程，典型流程为：
室外新风→初效过滤器（去除≥5μm 微粒）→中效过滤器（去除≥1μm 微粒）→风机→表冷器 / 加热器（调节温度）→加湿器 / 除湿器（调节湿度）→高效空气过滤器（HEPA，去除≥0.3μm 微粒，核心组件）→（若百级洁净度需加）超高效空气过滤器（ULPA，去除≥0.12μm 微粒）→洁净区气流分配（送风口）→回风口（部分空气循环，部分排出）
- 关键组件作用：
- HEPA/ULPA 过滤器：决定洁净度核心，需定期更换（一般 HEPA 寿命 6-12 个月，ULPA 寿命 12-24 个月）；
- 送风口：单向流洁净区用 “高效送风口 + 风淋板”，确保气流均匀；非单向流用 “散流板送风口”；
- 回风 / 排风系统：回风需经过中效过滤器再循环（节能），排风需经过处理（若含少量有害气体，需加活性炭过滤器）。
针对精密物理实验，需从 “建筑结构 + 设备安装” 双层面控制：
- 建筑层面：
- 洁净室地面采用 “浮筑地面”（地面与楼板之间加弹簧 / 橡胶减震层，隔绝楼板振动）；
- 墙体采用 “轻质隔音减震墙”（减少外界声波振动传递）；
- 选址避开振动源（如水泵房、电梯井、马路旁）。
- 设备层面：
- 精密仪器（如 AFM、干涉仪）安装在 “减震台”（气动 / 液压减震，可将振动降至 0.01 m/s² 以下）；
- 风机、水泵等动力设备安装在 “减震基座”（避免设备振动传递到洁净区）。
通过 “屏蔽材料 + 结构设计” 形成封闭的 “电磁屏蔽室”，常见方案：
- 屏蔽材料：
- 中低频干扰（如工频 50Hz）：用冷轧钢板（厚度 1-2mm，SE≥40dB）；
- 高频干扰（如射频、微波）：用铜板 / 铝板（厚度 0.5-1mm，SE≥60dB），或在钢板表面镀铜 / 银（提升高频屏蔽效果）；
- 门窗缝隙：用 “导电泡棉 + 铍铜弹片” 密封（避免缝隙漏磁）。
- 辅助设计：
- 电源线 / 信号线需穿 “屏蔽管”（如镀锌钢管）进入屏蔽室，并加装 “电源滤波器 / 信号滤波器”（滤除干扰信号）；
- 通风口用 “波导窗”（允许空气流通，但阻挡电磁波）。
- 温湿度控制：采用 “精密空调机组”（比普通空调精度高，可实现 ±0.5℃温度控制），配合室内温湿度传感器（实时反馈，自动调节）；
- 压力控制：在送风机 / 排风机上加装 “变频控制器”，通过室内压力传感器调节风量，确保压力差稳定（如正压洁净室需保持 + 10Pa，当压力低于设定值时，自动增大送风量）。
- 照明系统：用 “无尘 LED 灯”（避免灯具积尘或产生微粒），照度根据实验需求调整（如光学实验需≥500lux，精密操作区需≥800lux）；
- 地面 / 墙面 / 吊顶材料：需平整、光滑、易清洁、不产尘，常用材料：
- 地面：PVC 卷材（耐磨、防静电）、环氧树脂自流平地面（耐腐蚀、高洁净）；
- 墙面 / 吊顶：彩钢板（岩棉芯 / 玻镁芯，防火、保温），接缝处用密封胶密封；
- 人员净化系统：进入洁净区前需经过 “风淋室”（高速气流吹除人员身上的微粒）、“更衣间”（更换无尘服、无尘鞋、手套），洁净度越高，更衣流程越复杂（如百级需 “一更→二更→风淋→洁净区”）。
- 前期需求调研：必须明确实验类型的核心参数（如洁净度是百级还是万级、是否需要抗振 / 电磁屏蔽），避免过度设计（浪费成本）或设计不足（无法满足实验需求）；
- 流程布局合理：按 “洁净度从高到低” 规划动线，避免洁净区与非洁净区交叉污染（如：实验操作区→样品准备区→人员更衣区，气流从高洁净区流向低洁净区）；
- 避免 “二次污染”：
- 管道（风管、水管、电缆管）穿越洁净区时需密封（防止缝隙漏尘）；
- 洁净区内禁止设置明缝、凹槽（避免积尘）；
- 设备选型优先 “无油、无粉尘”（如用无油空压机、无尘真空泵）；
- 施工精度控制：
- 墙面 / 吊顶彩钢板安装缝隙≤0.5mm（确保密封）；
- 单向流洁净区的气流均匀度偏差≤15%（需通过风速检测调整）；
- 振动控制需现场测试（用振动测试仪检测减震效果，不达标需调整减震层厚度）；
- 验收与维护：
- 验收需按国家标准（如 GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》）检测洁净度、温湿度、振动、电磁屏蔽等参数，全部达标后方可投入使用；
- 日常维护需定期更换过滤器（记录更换时间）、清洁洁净区（用无尘布 + 专用清洁剂）、校准温湿度 / 压力传感器（每月 1 次）、检测振动 / 电磁屏蔽效果（每季度 1 次）。
物理实验室涵盖领域广，不同场景的净化重点完全不同，以下是典型案例对比：